DRK8090 Photoelectric Profiler

Энэхүү хэрэгсэл нь контактгүй, фазын шилжилтийн интерферометрийн хэмжилтийн аргыг ашигладаг, хэмжилт хийх явцад ажлын хэсгийн гадаргууг гэмтээхгүй, янз бүрийн бэлдэцийн гадаргуугийн микро топографийн гурван хэмжээст графикийг хурдан хэмжиж, хэмжилтэд дүн шинжилгээ хийж, тооцоолж чаддаг. үр дүн.

Бүтээгдэхүүний тодорхойлолт
Онцлогууд: Төрөл бүрийн царигийн блок, оптик хэсгүүдийн гадаргуугийн тэгш бус байдлыг хэмжихэд тохиромжтой; захирагч ба залгах торны гүн; сараалжтай ховилын бүтцийн бүрээсийн зузаан ба бүрээсийн хилийн бүтцийн морфологи; соронзон (оптик) дискний гадаргуу ба соронзон толгой Бүтцийн хэмжилт; цахиур хавтанцар гадаргуугийн тэгш бус байдал, хэв маягийн бүтцийн хэмжилт гэх мэт.
Хэмжилтийн өндөр нарийвчлалтай тул контактгүй, гурван хэмжээст хэмжилтийн шинж чанартай бөгөөд компьютерийн хяналт, хэмжилтийн үр дүнг хурдан дүн шинжилгээ хийх, тооцоолох боломжийг олгодог. Энэхүү хэрэгсэл нь бүх түвшний туршилт, хэмжилтийн судалгааны нэгжүүд, үйлдвэр, уул уурхайн аж ахуйн нэгжийн хэмжилтийн өрөөнүүд, нарийн боловсруулалтын цехүүдэд тохиромжтой, мөн дээд сургууль, шинжлэх ухааны судалгааны байгууллагуудад тохиромжтой.
Техникийн үндсэн үзүүлэлтүүд
Гадаргуугийн микроскопийн тэгш бус байдлын гүнийг хэмжих хүрээ
Тасралтгүй гадаргуу дээр зэргэлдээх хоёр пикселийн хооронд 1/4 долгионы уртаас илүү өндөр огцом өөрчлөлт байхгүй үед: 1000-1нм
Хоёр зэргэлдээх пикселийн хоорондох долгионы уртын 1/4-ээс их өндөр мутаци байвал: 130-1нм
Хэмжилтийн давтагдах чадвар: δRa ≤0.5nm
Объектив линз томруулалт: 40X
Тоон диафрагм: Φ 65
Ажлын зай: 0.5 мм
Багажны харах талбар: Φ0.25мм
Гэрэл зураг: 0.13×0.13мм
Багажны томруулалтын дүрслэл: 500×
Гэрэл зураг (компьютерийн дэлгэцээр ажигласан) -2500×
Хүлээн авагчийн хэмжилтийн массив: 1000X1000
Пикселийн хэмжээ: 5.2×5.2µm
Хэмжилтийн цаг дээж авах (сканнердах) хугацаа: 1S
Багажны стандарт толины тусгал (өндөр): ~50%
Тусгал (бага): ~4%
Гэрэлтүүлгийн эх үүсвэр: улайсдаг чийдэн 6V 5W
Ногоон интерференцийн шүүлтүүр долгионы урт: λ≒530нм
Хагас өргөн λ≒10нм
Үндсэн микроскопын өргөлт: 110 мм
Ширээний өргөлт: 5 мм
X ба Y чиглэлд хөдөлгөөний хүрээ: ～10 мм
Ажлын ширээний эргэлтийн хүрээ: 360°
Ажлын ширээний хазайлтын хүрээ: ±6°
Компьютерийн систем: P4, 2.8G ба түүнээс дээш, 1G ба түүнээс дээш санах ойтой 17 инчийн хавтгай дэлгэцтэй